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Hiwin線性馬達平台

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特征
應用
最大行程4m x 4m
以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平台
良好接地設計防止噪聲幹擾
Z向震動可達奈米等級以下
最大速度可達5m/s
標準重現精度1um或以下
位置回饋係統分辨率最低可達50nm
半導體設備
自動化搬送
FPD設備
太陽能製造設備
PCB設備
水刀設備
鑽石切割產業
AOI檢測設備
工具機

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